系統概述

Data Viewer為較基礎之工廠、機台或製程資訊圖形化顯示系統,運用在具備自動化基礎之機台及設備。


功能與特性

清楚切割製程Step
提供跨機台、跨Recipe、跨Sensor、跨Step 之製程參數顯示及比對
輸出分析參數之Temporal Data及Average數據資料(跨機台、跨Recipe、跨Step )
介面全部更新為網頁化界面、消除操作平台之限制,使用者透過瀏覽器即可進行製程參數視覺化之查詢與比較分析。


R2021a 新功能與產品應用

Function Principle Benefits for USER
新增Step 範圍搜尋 客戶修改製程Step項目時,系統可配合進行資料索引更新。 修改過去現場調整或新增加工 Step後,Data Viewer 無法同步更新的問題,避免資料檢視遺漏。

應用效益 :提供製程數據圖形化顯示之重要管道,建立後續參數分析之基礎

統整機台參數資訊與破除機台、Recipe、Step限制,快速比對製程間之差異。