系統概述

Data Viewer為較基礎之工廠、機台或製程資訊圖形化顯示系統,運用在具備自動化基礎之機台及設備。


功能與特性

清楚切割製程Step
提供跨機台、跨Recipe、跨Sensor、跨Step 之製程參數顯示及比對
輸出分析參數之Temporal Data及Average數據資料(跨機台、跨Recipe、跨Step )


R2017a 新功能與產品應用

新增Web版Data Viewer,方便使用者即時進行異常片之原始資料查詢


應用效益 :提供製程數據圖形化顯示之重要管道,建立後續參數分析之基礎

統整機台參數資訊與破除機台、Recipe、Step限制,快速比對製程間之差異