全自动虚拟量测系统(AVM)
系统概述
全自动虚拟量测系统(AVM)可在产品无法进行量测之情况下，利用生产机台资料预测并得到生产之产品品质，将传统离线且具延迟特性之品质抽检改成线上且即时之品质全检。
AVM系统所使用的预测模型可为倒传递类神经网路(BackpropagationNeural Network, BPNN)、或偏最小回归模型(Partial LeastSquare, PLS)等人工智能演算方法，透过双阶段虚拟量测演算法自动更新模型，以便模型移植后能自动调适。除此之外，AVM系统亦提供信心指标与资料品质指标，确保制程资料与实际量测资料的品质，故可确保所输出的虚拟量测值之品质，同时满足线上加工精度预测的即时与准确性。
特性
适合制造现场的平台式AI 解决方案，方便 User可迅速扩散至各厂与各制程机台
将AI技术后台化与自动化，工程师即使不具 AI 知识，依循 SOP 就可于20~30 分钟内将多变数多因子等具因果关系的工作AI化
针对不同制程型态(例如: 单Chamber、多Chamber、Line 式、Roll-to-Roll 式、连续型与前后制程整合式)均具备解决方案
生产线量测抽样比率越来越少，导致建模不易的问题，AVM 已有专利技术解决
符合厂内对 VM系统高精度与可靠度需求
机台清机、 调机与时变等事件，均可以 Auto Refresh等机制自动更新模型
针对产品多样少量与多生产机台/多Chamber 等环境，均可以自动扩散机制解决
对产品的量测平均值与各点位量测值(Uniformity)均可准确预估
R2020a 新功能与产品应用
| Function | Description | Benefits for USER |
|---|---|---|
| KPI Web -Reference | VM Client Web化。 | User Friendly。 |
| VM Hint | AVM Hint系当制程机台或量测机台不稳定时,提醒User预测状况不佳、需提高抽测率或加量以稳定预测状况的提示讯息。 | 协助分析厂内生产流畅度及生产稳定度，并降低预测不稳定所导致之成本。 |
| Pilot Run Simulation | 利用各产品模型、以及该模型下最后一个生产片之X值和量测值作为基准，由User调整各Sensor数值后进行模拟该模型之各个生产组合的量测值。 | 减少Pilot Run时间、加快生产速度并提高稼动率。 |
|
||
| Prediction Priority Adjustment Mechanism | 可由外部控制系统进行预测顺序的调整、配合厂内出货需求提供AVM系统运算对外接口。功能执行时，厂内资讯部门可透过启动AVM系统来运算特定ID。 | 因应User即时插单需求，确保厂内出货及时性。 |
AI智慧功能
| Function | Description | Benefits for USER |
|---|---|---|
| 机差补值 | 以系统软体的途径解决硬体先天上必然的差异，将机台间的差异视为一预测变因，并将此差异所造成的影响汇入预测系统进行校正。 | 在预测系统中，对于机差之时变状况，以自动化的方式于预测系统中补救，减少User 为维持机差稳定而频繁校机之负担。 |
| 设定建模页面 | 同规格的新产品上线时User不需新建模、仅需利用既有模型便可直接扩散、监控并预测新产品。 | 新产品上线时可快速建模扩展。 |
| 0 Run 建模 | 新产品上线前，User可先Reference既有模型并设定相关规格，待第一个新产品产出后，不论该笔资料是否有量测资料均可直接自动建模并Fan Out。 | |
| ISD 机制 | 当系统自动判读制程或量测机台状态不稳定时，自动进行加量决策。 | 每次均为有效量测。 |
| 参数权重呈现 | 于Web介面中呈现预测模型各参数权重以及绘制反应曲面图。 | User可更清楚了解预测模型中影响品质之重要参数及其影响程度。 |
应用效益：改善产品均匀度与提升毛利率
先知科技的AVM为各产业与制程通用，可广泛汲取客户使用回馈的同时，并迅速提升客户使用体验。
达成100% 全检，且针对正常产品可以大幅度降低量测抽样数 (≧ 30% )
降低 Cycle Time (≧ 3% )
减少机台Monitor频率 (≧ 50% )
减少量测机台资本支出 (≧ 30% ) & 空间节省
减少制造部量测人力 (≧ 30% )
市场导入成果
先知科技已跨足面板、半导体、太阳能、化工业及工具机等制造产业 (共售出超过170 套)，导入经验丰富。
于面板业中已导入Array/ CF/ Cell 段等的各主要制程与相互整合。
与欧、美、韩及中国等VM 竞争者于不同使用者场域比较后，均获得优异的成果。
-
产品应用范围
- 金属细微加工
- 汽车产业：轮圈制造
- 面板业：Array、CF、Cell
- 半导体：晶圆制造、IC制造、测试封装
- 成型机产业
- 航太产业