先知科技R2020a 产品版本正式上市
FDC Lite:全厂机台参数健康程度监控页面(Parameter Alarm Summary)。
AVM:KPI Web -Reference、VM Hint、Pilot Run Simulation、预测插单机制。
FDC Lite:全厂机台参数健康程度监控页面(Parameter Alarm Summary)。
AVM:KPI Web -Reference、VM Hint、Pilot Run Simulation、预测插单机制。
FDC Lite:多模组GHI、GHIb指标、稳暂态指标、多模组监控设定、4种MonitorType、Simulation功能、Clean Rule功能、Warning Table介面、SPC Rule 独立监控、各厂区整合页面、Sensor Group、特征值新增PAR & PAPR。
AVM:设定建模页面、User自由设定ISD 机制、MR Weight呈现、0Run建模(Reference 建模)。
FDC: 新增特征值:众数
FDC Web化--FDC Lite: 新增单模组之GHI Index、Realtime之红绿灯表、机台间的EQP Rule比对功能及汇出功能以及GHI Index之权重功能
AVM:自我优化功能(厂端PM自动Refresh模型)、回算机制、特征值:众数以及Uniformity Client介面
机台资料搜集:黄光机台类比信号采集器(LCD Litho Signal Acquisition)
AVM: 新增Rebuild Model机制(相同条件下,将近期资料进行重新建模)
FDC: 优化建模速度与新增删除Strategy功能
如有产品更新需求,请洽先知相关人员。