Data Viewer

系统概述

Data Viewer为较基础之工厂、机台或制程资讯图形化显示系统，运用在具备自动化基础之机台及设备。

DataViewer

功能与特性

清楚切割制程Step
提供跨机台、跨Recipe、跨Sensor、跨Step 之制程参数显示及比对
输出分析参数之Temporal Data及Average数据资料(跨机台、跨Recipe、跨Step )

R2019b 新功能与产品应用

介面全部更新为网页化界面、消除操作平台之限制，使用者透过浏览器即可进行制程参数视觉化之查询与比较分析。

应用效益 ：提供制程数据图形化显示之重要管道，建立后续参数分析之基础

统整机台参数资讯与破除机台、Recipe、Step限制，快速比对制程间之差异。