全自動虛擬量測系統 (AVM)


系統概述

全自動虛擬量測系統(AVM)可在產品無法進行量測之情況下,利用生產機台資料預測並得到生產之產品品質,將傳統離線且具延遲特性之品質抽檢改成線上且即時之品質全檢。

AVM系統所使用的預測模型可為倒傳遞類神經網路(BackpropagationNeural Network, BPNN)、或偏最小迴歸模型(Partial LeastSquare, PLS)等人工智慧演算方法,透過雙階段虛擬量測演算法自動更新模型,以便模型移植後能自動調適。除此之外,AVM系統亦提供信心指標與資料品質指標,確保製程資料與實際量測資料的品質,故可確保所輸出的虛擬量測值之品質,同時滿足線上加工精度預測的即時與準確性。


功能與特性

機台資料收集與管制 : 即時機台異常偵測與管制
Alarm通知系統:可根據不同使用者設定並即時發信通知異常狀況,另外提供即時OCAP狀況總覽以及近一日生產狀況
失效原因追溯 : 快速找出問題點,減少當機時間
檢驗方式與時效 : 將延遲抽檢改為即時全檢
與APC控制配合 : 可提供更好的精確度
Rebuild Model機制:在原始建模條件下,將近期資料自動建模,根據不同產業與製程可作微幅客製,目前在工具機產業已有實績


R2018a 新功能與產品應用

建模端Model Optimization:優化建模過程,系統可自行挑選最適樣本數進行建模
以Excel檔案匯入Offline分析系統:使用者在Database尚未建立完畢時可先以Excel檔案匯入系統、進行資料分析
動態規格:預測值的規格可根據過去的量測值資料進行變動


應用效益:改善產品均勻度與提升毛利率

達成能“將離線且具延遲特性之品質抽檢改為線上且即時之品質全檢”之境界,以便符合工業4.0之CPS內的良率管理大數據分析之標的 
降低取樣頻率與量測成本、時間與機台,提升Cpk
降低實際抽樣率,且做到100% 全檢
提高Tool Available Time
更穩定的產品品質

  • 產品應用範圍

    • 金屬細微加工
    • 輪圈製造
    • 面板CVD、LIT
    • 半導體PVD、CVD、ETC、CMP
    • LED MOCVD