全自動虛擬量測系統 (AVM)


系統概述

全自動虛擬量測系統(AVM)可在產品無法進行量測之情況下,利用生產機台資料預測並得到生產之產品品質,將傳統離線且具延遲特性之品質抽檢改成線上且即時之品質全檢。

AVM系統所使用的預測模型可為倒傳遞類神經網路(BackpropagationNeural Network, BPNN)、或偏最小迴歸模型(Partial LeastSquare, PLS)等人工智慧演算方法,透過雙階段虛擬量測演算法自動更新模型,以便模型移植後能自動調適。除此之外,AVM系統亦提供信心指標與資料品質指標,確保製程資料與實際量測資料的品質,故可確保所輸出的虛擬量測值之品質,同時滿足線上加工精度預測的即時與準確性。


特性

適合製造現場的平台式AI 解決方案,方便 User可迅速擴散至各廠與各製程機台
將AI技術後台化與自動化,工程師即使不具 AI 知識,依循 SOP 就可於20~30 分鐘內將多變數多因子等具因果關係的工作AI化
針對不同製程型態(例如: 單Chamber、多Chamber、Line 式、Roll-to-Roll 式、連續型與前後製程整合式)均具備解決方案
生產線量測抽樣比率越來越少,導致建模不易的問題,AVM 已有專利技術解決
符合廠內對 VM系統高精度與可靠度需求
機台清機、 調機與時變等事件,均可以 Auto Refresh等機制自動更新模型
針對產品多樣少量與多生產機台/多Chamber 等環境,均可以自動擴散機制解決
對產品的量測平均值與各點位量測值(Uniformity)均可準確預估


R2019b 新功能與產品應用

Function Description Benefits for USER
機差補值 以系統軟體的途徑解決硬體先天上必然的差異,將機台間的差異視為一預測變因,並將此差異所造成的影響匯入預測系統進行校正。 在預測系統中,對於機差之時變狀況,以自動化的方式於預測系統中補救,減少User 為維持機差穩定而頻繁校機之負擔。

AI智慧功能

Function Description Benefits for USER
設定建模頁面 同規格的新產品上線時User不需新建模、僅需利用既有模型便可直接擴散、監控並預測新產品。 新產品上線時可快速建模擴展。
0 Run 建模 新產品上線時,待第一個新產品生產後,模型即可自動上線預測。
ISD 機制 當系統自動判讀製程或量測機台狀態不穩定時,自動進行加量決策。 每次均為有效量測。
參數權重呈現 於Web介面中呈現預測模型各參數權重以及繪製反應曲面圖。 User可更清楚了解預測模型中影響品質之重要參數及其影響程度。

應用效益:改善產品均勻度與提升毛利率

先知科技的AVM為各產業與製程通用,可廣泛汲取客戶使用回饋的同時,並迅速提升客戶使用體驗。
達成100% 全檢,且針對正常產品可以大幅度降低量測抽樣數 (≧ 30% )
降低 Cycle Time (≧ 3% )
減少機台Monitor頻率 (≧ 50% )
減少量測機台資本支出 (≧ 30% ) & 空間節省
減少製造部量測人力 (≧ 30% )


市場導入成果

先知科技已跨足面板、半導體、太陽能、化工業及工具機等製造產業 (共售出超過170 套),導入經驗豐富。
於面板業中已導入Array/ CF/ Cell 段等的各主要製程與相互整合。
與歐、美、韓及中國等VM 競爭者於不同使用者場域比較後,均獲得優異的成果。

  • 產品應用範圍

    • 金屬細微加工
    • 汽車產業:輪圈製造
    • 面板業:Array、CF、Cell
    • 半導體:晶圓製造、IC製造、測試封裝
    • 成型機產業
    • 航太產業