系統概述


功能與特性

100%監控涵蓋率:當廠內有新產品時,系統會依據廠內General Rule 設定,自動進行參數監控,大幅降低人員負擔
可自動發送每日報告,而當有異常發生時,系統會透過Alarm Manager發出Alarm,寄信通知工程師對產品與機台採取適當動作避免異常產品的持續發生
進行參數規格訂定與參數資料品質過濾,參數設定規則可By Manual、Sigma、Percentage
即時監控機台重要參數
新增SPC的8大Rule功能:新增業界常用SPC八大管制規則
Report查詢功能:依據時間區間以及機台、Recipe進行分類,提供Piece, Daily, Weekly, Monthly等區間的OOS/OOC異常資料統計圖
提供機台Alarm Rate與機台特定Recipe Alarm Rate,並可設定Alarm Rate超標警示(超標部份以紅色標示,方便管理)
提供每片產品超規參數清單,並可一鍵連結至Temporal Data,提供前三片資料供工程師進行比對,快速找出異常真因
單模組之GHI Index
Realtime之紅綠燈表
FDC Rule管理:機台間的EQP Rule比對功能以及匯出功能



R2019a 新功能與產品應用

Function Principle Benefits for USER
新增多模組GHI、GHIb Index、Sensor Group監控 1. User可將相同規格的Sensor設定分組,同時User可自行挑選Golden Data當作資料樣本,建立多變量分析的模型。
2. 系統會自動選擇最近幾個Piece的參數資料作為多變量分析的樣本,進行新進Piece資料與樣本的差異程度比較。
3. 系統可將比較結果彙整輸出成監控指標GHI(Global Health Index),協助User查詢機台無上報異常但生產品質不佳等設備隱性問題。
方便User進行設定與管理,並可快速查詢機台隱性問題。
監控法則模擬測試驗證功能 即時模擬建置的Rule的狀況,確定法則設定的適用性。 避免錯誤Rule造成False Alarm。
機台穩/暫狀態的監控 針對製程中類似自動流量控制等由不穩定趨向穩定的信號種類所提供的實用功能,即可依據資料內容自動判定一開始不穩定與之後穩定狀態的區分點,之後使用者可分別對不穩定區域與穩定區域取不同的特徵轉換。 減少False Alarm。
新增特徵值轉換 1. 傅立葉轉換
2. PAR(Peak-to-Average Ratio)
3. PAPR(Peak-to-Average Power Ratio)
加強監控機台運作時的訊號/雜訊比。
資料雜訊濾除功能 使用者可設定資料中需要過濾掉的雜訊範圍,系統可將設定範圍內的資料做特殊處理(如 : 刪除、用其他數值代替...等等)。 將資料中的特定範圍內的資料,根據真實物理意義進行處理,降低偵測的False Alarm。
新增各廠區整合頁面及"警告"分類 全廠監控畫面,即時掌握整廠生產線的機台情況。同時將儲存資料收集不足之資訊進行儲存供日後查詢。 方便客戶進行即時全廠監控,且判斷為"警告"分類的異常不會發出通知,降低User非關鍵的異常查詢。