系統概述

失效偵測與分類系統(FDC)可即時收集機台Temporal資料,並依製程狀態及需求分別提供單變量及多變量*分析、進行監控與異常偵測並減輕USER全面監控之負擔。當有異常發生時,系統立即發出警訊並對產品與機台採取適當應變措施 (如: 停機, Hold Lot,通知工程師..等),避免異常產品的持續發生。

*多變量分析:化繁為簡、將多參數彙整成單一指標。



FDC 與 AI 的關係與應用


FDC蒐集機台即時製程資料 (ex: 感測器..),進行 Data Feature Extraction的同時,並以系統化的方式監控機台製程之狀態,進行及時攔阻,避免造成大量報廢,並於異常發生時進行分類與差異分析,提供使用者快速排除異常;同時間可作為 AI 應用的資料來源。


異常偵測:異常偵測:即時監控機台重要參數:以AI 方式進行機台即時健康狀況指標監控(Global Heath Index, GHI)。

異常辨識及分類:AI 系統自動排出前十大偏移參數,方便使用者依知識與經驗判定真因。一鍵連結提供前後Run之資料供使用者快速比對差異(Global Heath Index, GHI)。


項目 效益
Quality 機台管理最佳化,偵測潛在的問題,防止對產品造成影響。
Cost 即時監控與整理機台的眾多參數,減少使用者管理機台的負擔。
Time 縮減查詢機況與復機的時間,增加機台稼動率,並提升有效產能。
Enable 智慧製造與 AI 延伸應用。

R2021a 新功能與產品應用

Function Principle Benefits for USER
自行新增Recipe 功能 於製程中新增規格設定。 提前設定新產品規格,加強新產品品質保證。
Step 範圍搜尋機制 客戶修改製程Step項目時,系統可配合進行資料索引更新。 讓User可 Key in初始與終止的Step以搜尋該區間的Step。
預防保養 (PM) 規格卡控 增加PM&Abnomal 規格卡控機制。 PM資訊設定與規格計算邏輯下 PM指令,以重新收集計算規格。
新監控規則Dynamic Value 監控規則 FDC Lite增加新監控規則Dynamic Value 監控規則。 符合客戶產線控制規則。
模擬補片執行等待資訊 增加Simulation 補片執行等待資訊。 新增補片模擬規則。