系統概述

失效偵測與分類系統FDC Lite可即時監控蒐集完畢之客戶製程資料、並依製程狀態及需求分別提供單變量及多變量(將多參數彙整成單一指標、化繁為簡,減輕USER全面監控之負擔)分析。當有異常發生時,系統立即發出警訊並對產品與機台採取適當應變措施(如:停機,Hold Lot,通知工程師等)、避免異常產品的持續發生。



R2019b 新功能與產品應用

Function Principle Benefits for USER
Excel匯入/出Rule 支援使用者將需監控之參數、步驟、規格,以填表方式填入Excel表格。系統可直接讀取Excel表格即可完成監控設定。 加速規格設定、降低使用者負擔。
監控法則模擬測試驗證功能優化 透過設定方式建立另一組原始資料與監控規格,讓使用者可進行離線模擬監控,方便找尋適合的資料特徵與規格。即時模擬建置的Rule的狀況,確定法則設定的適用性。 提供離線分析平台。快速找尋監控規格。
新增特徵值轉換: Similar 加強辨識參數時序波形與樣本的相似程度,並提供一回饋值,告知使用者當下參數變異程度。 加強監控機台運作時的訊號/雜訊比及發覺機台運作時的隱性異常因素。

AI智慧功能

Function Principle Benefits for USER
100%監控涵蓋率,提供Realtime紅綠燈表並即時監控機台重要參數 1. 當廠內有新產品時,系統會依據廠內General Rule 設定,自動進行參數監控
2. 提供機台Alarm Rate與機台特定Recipe Alarm Rate,並可設定Alarm Rate超標警示(超標部份以紅色標示,方便管理)
3. 提供每片產品超規參數清單,並可一鍵連結至Temporal Data,提供前三片資料供工程師進行比對,快速找出異常真因
大幅降低人員負擔
FDC Rule管理 機台間的EQP Rule比對功能以及匯出功能
USER可依據製程自行訂定監控規則,除業界常用SPC八大管制規則外,更有傅立葉轉換等轉換規則 1. 管制規則:Max / Min / Average / Std / Range / Slope / Counter / Accumulation / 眾數 / 傅立葉轉換 / PAR(Peak-to-Average Ratio) / PAPR(Peak-to-Average Power Ratio)
2. 進行參數規格訂定與參數資料品質過濾,參數設定規則可By Manual、Sigma、Percentage
將資料中的特定範圍內的資料,根據真實物理意義進行處理,降低偵測的False Alarm及加強監控機台運作時的訊號/雜訊比
資料雜訊濾除功能 使用者可設定資料中需要過濾掉的雜訊範圍,系統可將設定範圍內的資料做特殊處理(如 : 刪除、用其他數值代替...等等)
Auto Daily Report 可自動發送每日報告,而當有異常發生時,系統會透過Alarm Manager發出Alarm,寄信通知工程師對產品與機台採取適當動作 避免異常產品的持續發生
Report查詢功能 依據時間區間以及機台、Recipe進行分類,提供Piece, Daily, Weekly, Monthly等區間的OOS/OOC異常資料統計圖 大幅降低人員負擔
機台穩/暫狀態的監控 針對製程中類似自動流量控制等由不穩定趨向穩定的信號種類所提供的實用功能,即可依據資料內容自動判定一開始不穩定與之後穩定狀態的區分點,之後使用者可分別對不穩定區域與穩定區域取不同的特徵轉換 減少False Alarm
單/多模組GHI、GHIb Index、Sensor Group監控 1. User可將相同規格的Sensor設定分組,同時User可自行挑選Golden Data當作資料樣本,建立多變量分析的模型
2. 系統會自動選擇最近幾個Piece的參數資料作為多變量分析的樣本,進行新進Piece資料與樣本的差異程度比較
3. 系統可將比較結果彙整輸出成監控指標GHI(Global Health Index),協助User查詢機台無上報異常但生產品質不佳等設備隱性問題
方便User進行設定與管理,並可快速查詢機台隱性問題
監控法則模擬測試驗證功能 即時模擬建置的Rule的狀況,確定法則設定的適用性 避免錯誤Rule造成False Alarm
各廠區整合頁面及"警告"分類 全廠監控畫面,即時掌握整廠生產線的機台情況。同時將儲存資料收集不足之資訊進行儲存供日後查詢 方便客戶進行即時全廠監控,且判斷為"警告"分類的異常不會發出通知,降低User非關鍵的異常查詢