系統概述

FDC Lite顧名思義為原先FDC系統之簡便版,除了使用者介面完全Web化之外,省去原先基於多變量分析的建模步驟,直接針對Temporal Data進行監控與異常偵測;若有異常發生時,系統立即發出警訊並對產品與機台採取適當應變措施 (如: 停機, Hold Lot,通知工程師..等),避免異常產品的持續發生,適用於單一機台複雜程度低的製程。


                                        
系統項目差異 FDC Standard FDC Lite
系統特性 多變量偵測模組,對於參數各特徵值進行綜合比對並提供整體健康指標(GHI),具由繁化簡、以簡馭繁得操控特性。 可達到FDC 100% Cover Rate並完整監控Temporal Data
適用製程特性 適用於復雜度高的機台製程(例如:Recipe步驟與Sensor數多且會互相影響,或需非平均值等其他Indicator轉換)。大量生產,少樣多量製程。適用於簡單製程機台(例如:Recipe步驟與Sensor數較少且只需平均值轉換Indicator)。多樣少量製程。
適用製程 IC前段製程、面板製程 Packaging、MOCVD製程、網通業、LED後段製程
建模基礎 By Recipe(/By Chamber) By Tool / By Recipe / By Chamber
FDC Model差異 Model Base多變量轉換與監控(GHI Model)、單一參數監控 單一參數監控
多變量分析(MVA) 前10大異常參數分析&排序(ISI分析)、單一參數異常通報 單一參數異常通報
線上學習 線上Tuning(自我學習)多變量模型特性、線上Tuning個別參數規格 線上Tuning個別參數規格

功能與特性

可自動發送每日報告,而當有異常發生時,系統會透過Alarm Manager發出Alarm,寄信通知工程師對產品與機台採取適當動作避免異常產品的持續發生
監控Rule建立:進行參數規格訂定與參數資料品質過濾,參數設定規則可By Manual、Sigma、Percentage
當廠內有新產品時,系統會依據廠內General Rule 設定,自動進行參數監控
即時監控機台重要參數,監控方式有Temporal, Mean, Max, Min, Range, Std, Slope, Counter, Accumulation等
新增SPC的8大Rule功能:新增業界常用SPC八大管制規則
Report查詢功能:依據時間區間以及機台、Recipe進行分類,提供Piece, Daily, Weekly, Monthly等區間的OOS/OOC異常資料統計圖
提供機台Alarm Rate與機台特定Recipe Alarm Rate,並可設定Alarm Rate超標警示(超標部份以紅色標示,方便管理)
提供每片產品超規參數清單,並可一鍵連結至Temporal Data,提供前三片資料供工程師進行比對,快速找出異常真因



R2018b 新功能與產品應用

新增單模組之GHI Index
新增Realtime之紅綠燈表
新增機台間的EQP Rule比對功能(依據EQU,RECIPE, Step, Sensor進行比對) 以及匯出功能
新增GHI Index之權重功能(可設定Level: HH、H、M、L、LL)