Data Viewer

系統概述

Data Viewer為較基礎之工廠、機台或製程資訊圖形化顯示系統，運用在具備自動化基礎之機台及設備。

功能與特性

清楚切割製程Step
提供跨機台、跨Recipe、跨Sensor、跨Step 之製程參數顯示及比對
輸出分析參數之Temporal Data及Average數據資料(跨機台、跨Recipe、跨Step )
介面全部更新為網頁化界面、消除操作平台之限制，使用者透過瀏覽器即可進行製程參數視覺化之查詢與比較分析。

R2020b 新功能與產品應用

Function Principle Benefits for USER
折線圖：雙軸放大 配合使用者需求，Y軸可放大呈現值域區間 提供更完整的圖形縮放檢視功能、便於閱讀
刷新Step 使用者修改製程Step項目時，不需另外修改後端程式、系統便可配合進行資料索引即時更新 避免現場調整或新增加工Step後，Data Viewer無法同步更新的問題而造成的資料檢視遺漏。
Golden 計算 設定所監控參數的Golden BoxPlot對照資料，即時監控時可進行視覺化比對。 幫助使用者在即時監控時，快速了解當下的參數情況是否與最佳組合(Golden Pattern)比較後有偏差、以利進行機況判斷。

應用效益 ：提供製程數據圖形化顯示之重要管道，建立後續參數分析之基礎

統整機台參數資訊與破除機台、Recipe、Step限制，快速比對製程間之差異。