重要參數分析系統 (eProcessKey)
系統概述
重要參數分系統(ePK)系從產品良率觀點出發,串起良率、線上品質(厚度,片電阻等)與生產流程等資訊,利用多變數原理,分析並得出重要參數對產品品質的影響程度與相關比重,進而找出最佳產品生產條件。找出重要參數為智慧製造下一階段之預防保養及預測之重要步驟,此亦ePK系統之核心價值。
功能與特性
可進行大p (多參數)小n(少樣本) 的樣本分析。
同時對品質平均值與均勻度進行分析,建議最佳生產配方。
資料格式為 Excel 或 Database 均可接受。
綜合量產與實驗資料一起進行分析。
提供專家建議參數功能,可由使用者經驗選擇需要被納入的參數進行分析。
應用效益
提升產品良率分析
降低開發時間與成本
提高Tool Available Time
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產品應用範圍
- 太陽能
- Laser Diode MOCVD