失效偵測與分類系統 (FDC)


系統概述

失效偵測與分類系統(FDC)收集機台Temporal資料,並轉為Indicator,進行監控與異常偵測;若有異常發生時,系統立即發出警訊並對產品與機台採取適當應變措施 (如: 停機, Hold Lot,通知工程師..等),避免異常產品的持續發生。


功能與特性

若有異常發生時,系統立即發出Alarm,通知工程師對產品與機台採取適當動作避免異常產品的持續發生
提供機台即時健康狀況指標(Global Heath Index, GHI)
即時監控機台重要參數
系統自動排出前十大偏移參數方便使用者依知識與經驗判定真因
一鍵連結提供前後Run之每秒鐘資料(temporal data)供使用者快速比對差異
支援WEB介面監控各機台OCAP情形


R2017b 新功能與產品應用

Fan Out 流程優化 - 可自動編輯Configuration.xml,假如資料庫中有適合的Model會自動Fan Out該Model到系統中
於GHI圖形中直接顯示Piece資訊,及時獲得異常片資訊
新增Alarm通知系統 - 可根據不同使用者設定並即時發信通知異常狀況,另外提供即時OCAP狀況總覽
優化建模速度 - 提升FDC系統處理大量資料之效能


應用效益 :快速診斷異常並改善,取得快速改善產品良率的優勢

快速回報機台狀況,避免持續生產不良品
即時偵測產品異常,建立異常通報機制
建構能運用AVM、R2R控制與良率改善(YMS/EDA) 等應用的資料來源,以完成工業4.0內的大數據分析基礎。

  • 產品應用範圍

    • 面板CVD、ETC
    • 半導體PVD、ETCH
    • LED MOCVD
    • HBT MOCVD
    • Laser MOCVD
    • 太陽能