失效偵測與分類系統 (FDC)

系統概述

失效偵測與分類系統(FDC)收集機台Temporal資料，並轉為Indicator，進行監控與異常偵測；若有異常發生時，系統立即發出警訊並對產品與機台採取適當應變措施 (如: 停機， Hold Lot，通知工程師..等)，避免異常產品的持續發生。

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功能與特性

若有異常發生時，系統立即發出Alarm，通知工程師對產品與機台採取適當動作避免異常產品的持續發生
提供機台即時健康狀況指標(Global Heath Index, GHI)
即時監控機台重要參數
系統自動排出前十大偏移參數方便使用者依知識與經驗判定真因
一鍵連結提供前後Run之每秒鐘資料(temporal data)供使用者快速比對差異
支援WEB介面監控各機台OCAP情形

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R2018b 新功能與產品應用

新增特徵值：眾數

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應用效益 ：快速診斷異常並改善，取得快速改善產品良率的優勢

快速回報機台狀況，避免持續生產不良品
即時偵測產品異常，建立異常通報機制
建構能運用AVM、R2R控制與良率改善(YMS/EDA) 等應用的資料來源，以完成工業4.0內的大數據分析基礎。

• 產品應用範圍

  • 面板CVD、ETC
  • 半導體PVD、ETCH
  • LED MOCVD
  • HBT MOCVD
  • Laser MOCVD
  • 太陽能