Data Viewer
系統概述
Data Viewer為較基礎之工廠、機台或製程資訊圖形化顯示系統，運用在具備自動化基礎之機台及設備。
功能與特性
清楚切割製程Step
提供跨機台、跨Recipe、跨Sensor、跨Step 之製程參數顯示及比對
輸出分析參數之Temporal Data及Average數據資料(跨機台、跨Recipe、跨Step )
介面全部更新為網頁化界面、消除操作平台之限制，使用者透過瀏覽器即可進行製程參數視覺化之查詢與比較分析。
R2022b 新功能與產品應用
| Function | Principle | Benefits for USER |
|---|---|---|
| 生產資訊的資料整合 | 整合工廠所需的生產資訊於資料庫內。 | 漸少資料分散與拉取的困難度，加速取的生產資訊進行異常分析或是報告撰寫。 |
| 綜合參數資訊操作介面 | 根據生產與分析需求進行生產履歷資訊選取。 | 步驟是簡易的資料挑選流程。 |
| 多組生產參數資訊彙整與圖形顯示 | 提供生產資料資訊，以及trend chart圖。 | 提供多組資訊圖進行分析比對，同時也提供參數數據做為參考依據。 |
| 資訊匯出功能 | 匯出所需的生產參數資訊。 | 快速彙整匯出所需生產資訊進行後續分析與討論。 |
應用效益 ：提供製程數據圖形化顯示之重要管道，建立後續參數分析之基礎
統整機台參數資訊與破除機台、Recipe、Step限制，快速比對製程間之差異。